细美事请求用于衬底处理设备的环组件测验设备专利能在衬底处理外部测验环组件电弧的产生

  金融界2025年3月26日音讯，国家知识产权局信息数据显现，细美事有限公司请求一项名为“用于衬底处理设备的环组件测验设备”的专利，公开号 CN 119673733 A，请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现，本请求触及用于衬底处理设备的环组件测验设备，包含：电极本体，包含设置在包含环组件的测验目标下方的底部电极和设置在所述测验目标上方的顶部电极；以及功率使用模块，用于向所述电极本体施加功率，其间，向所述电极本体施加功率，以在处理衬底的所述衬底处理设备外部，测验所述环组件的电弧的产生。